光电所提出微纳结构三维形貌重建方法可用于在线检测

2017年06月29日 13:37:17 人气: 17795 来源: 中国科学院光电技术研究所

　　【仪表网仪表研发】微纳器件在半导体、生物科学等领域中的迅速发展促进了人们对微纳结构的不断探索和改进。测量作为衡量器件性能的重要手段，对微纳结构的三维形貌检测也变得日趋重要。

单个像素点时域调制度分布曲线和三维形貌重建结果

　　得益于微小的结构和敏感的量子效应，微纳电子器件在信息感知、物质探测等方面具有先天的优势。相比于传统器件，其具有灵敏度高、能耗低、尺寸小、易集成的优点，具有非常广阔的市场前景。

　　光电所科研人员提出一种基于白光显微干涉术的形貌恢复算法：利用二维傅立叶变换获取单帧干涉图像频域信息，提取基频频谱作逆傅里叶变换，后获取条纹的时域调制度信息。通过压电陶瓷纵向高精度扫描，获取每个像素点的调制度分布，进而利用极值点得到单个像素点的高度信息，从而实现微纳结构的三维形貌重建。该方法优势在于能有效消除光源光强不稳定、外界环境干扰等不利因素带来的误差，较大程度上提升检测精度和系统稳定性，未来有望应用于在线检测。

　　该项目得到国家科学自然基金和光电所研究生创新基金支持。

　　(原标题：光电所发展出一种基于白光显微干涉术时域调制度的微纳结构三维形貌重建方法)

关键词：在线检测,测量

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